SCREEN SCREENセミコンダクターソリューションズ

シンプル操作で多機能、超薄膜にも対応

SCREENの膜厚測定装置シリーズ

膜厚測定の課題や悩み、まとめて解決!

これまで以上に高い精度とスピードが、膜厚測定に求められるようになった。

独自の機構を採用し高精度測定を実現 エリプソメトリ、光干渉式による測定と、SCREEN独自の搬送機構を採用し、多彩なウェーハの安定的な搬送と高精度測定を実現しています。

測定要件や機器の設置に条件があり、ベストマッチする製品を探している。

ニーズに応える多彩なラインアップ 特殊ウェーハ、超薄膜にも対応。操作方法、設置スペースなど、さまざまな課題に応える製品をご用意しています。

保有しているウェーハを測定できるか、精度に問題はないか、導入前に知りたい。

導入の検討材料に無料デモ測定実施中 お送りいただいたウェーハを、無料で測定します。精度の確認をはじめ、導入検討の判断材料としてご活用ください。


無料デモ測定/検査実施中 お申し込みフォーム

お送りいただいたウェーハを、ご指定の装置・設定でデモ測定します。
導入検討の判断材料に、ぜひご活用ください。

計測ヘッド・デモ測定の一例

  • 光干渉膜厚測定ヘッド 可視光
  • 光干渉膜厚測定ヘッド UV光
  • 分光エリプソメータ
  • 単波長エリプソメータ
  • トレンチ深さ測定
  • スループット実計測

デモ測定の流れ

お問い合わせ 「デモ申し込みフォーム」からご相談ください。

担当からご連絡 営業員・技術員が詳細なご要望をお伺いします。非対面でも対応可能です。

ウェーハ送付 ヒアリングに基づきデモ要件が決定した後、ウェーハをご送付ください。

測定 ウェーハ到着後、デモ測定を実施します。

測定データ送付 ウェーハ到着から約2週間をめどに測定データをお送りします。


膜厚測定装置シリーズ

卓上タイプから量産機まで、ニーズに応える幅広いラインアップ

RE-3500 エリプソ式膜厚測定装置
分光エリプソメータを搭載したハイエンドモデル

40μm角の微細なエリアを高精度に測定し、従来比2倍のハイスループットを実現したハイエンドモデル。膜厚と光学定数を同時に測定でき、さらにオプションで単波長エリプソメータも搭載可能です。

VM-2500/3500 光干渉式膜厚測定装置
国内No.1の販売実績を誇る多機能モデル

通信用デバイスなどの面内多点測定に最適で、高速モードで毎時160枚のハイスループットが可能(SiO2、5ポイント測定時)。ログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートも向上しました。

VM-1200/1300 光干渉式膜厚測定装置
製造ラインへの導入も可能な卓上モデル

分光器にCCDイメージセンサを採用。可視光の全波長域にわたり同時に測定し、膜厚の高速・高精度な測定を実現します。レシピウイザード機能でレシピ作成を簡単にし、管理、登録数も増加しました。

VM-1020 光干渉式膜厚測定装置
R&Dに最適な顕微鏡モデル

鏡筒、手動XYステージ、電動レボルバ、対物レンズ、フィルタ挿入部、光源から成る顕微鏡部と分光器で構成。光ファイバー入力式CCD分光器により、コンパクトながら高い測定精度とスピードを誇ります。


20nm以下の超薄膜や
膜質管理、開発プロセス
にも応える測定手法

■SWE 単波長エリプソメータ
膜厚20nm以下の薄膜を高精度で測定。光源は長寿命タイプのレーザーダイオードで、ランニングコスト削減に貢献します。
■SE 分光エリプソメータ
膜厚と光学定数の同時測定が可能。膜質管理が重要な工程や、薄膜材料の開発、成膜プロセス開発に適しています。
■SR 膜厚測定装置
最大4層までの積層膜に対応。可視光タイプ、紫外光タイプを取り揃えており、測定対象に適した条件で測定できます。

測定ヘッドの得意領域
標準25膜種レシピを搭載し
独自レシピのカスタマイズも可能

各装置共通で25種類の標準膜種レシピを搭載。
さらに、お客さまが独自に作成されたレシピも追加できるため、特殊な化合物ウェーハにも対応でき、よりフレキシブルに測定作業が行えます。

標準膜種リスト
お客さまのニーズに合わせた
豊富な測定アプリケーション

膜厚測定の幅広いニーズにしっかり対応する、測定アプリケーションを搭載。
その中でも可視光では難しいSiCエピ層の膜厚測定も、赤外領域での解析によって実現しています。
その他、薄膜測定や厚膜測定、積層膜測定、ガラス基板測定、PZT膜測定が可能です。

アプリケーション
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外観検査装置シリーズ

高度な操作知識とノウハウを必要とせず、レシピ作成は10分で可能。
SCREENの技術が実現する、高速・高精度の検査装置です。

ZI-3500 パターン付きウェーハ外観検査装置
300mmウェーハ対応・高解像度対応のZIシリーズ最上位機種

ウェーハ内のチップサイズや個数に影響を受けずに、ハイスピードかつ高精度での外観検査を実現。さらに、解像度の異なるレンズを同時に搭載でき、3段階の切り替えがレシピで容易に行えます。

ZI-2000 パターン付きウェーハ外観検査装置
ハイスピード、コンパクト、コストパフォーマンスを追求

検査レシピ作成が容易なため新規ウェーハでもすぐに検査できる、柔軟性に優れたモデル。独自の検査ヘッドと高速画像処理エンジンを搭載し、ハイスピード検査にもしっかり対応します。


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導入前に、ご指定いただいたウェーハを、実機でテスト測定/検査することができます。
また、技術・製品に関するご相談やご質問、お見積もりについてもお気軽にお問い合わせください。

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